2001年，北京电子控股有限责任公司整合资源，以北京七星华电科技集团有限责任公司为主发起人，发起设立了北京七星华创电子股份有限公司，主营半导体装备及精密电子元器件业务；同时联合七星华电集团、清华大学、北京大学、中科院微电子所、中科院光电所共同创立北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司主营高端半导体装备业务。

2016年，七星华创与北方微电子战略重组，并于2017年更名为北方华创科技集团股份有限公司，推出全新品牌“北方华创”(NAURA)。

2018年，北方华创被纳入国务院国资委国企改革“双百企业”试点名单，并以此为契机，深入推动法人治理体系、股权激励、职业经理人等多方面改革进程。

2021年，作为“国企改革样本”写入北京市政府工作报告。同年，作为电子专用设备企业，北方华创首次进入“中国电子百强榜单”。